等離子清洗機(jī)的高頻放電會(huì)產(chǎn)生哪些作用
時(shí)間:2021-07-03 14:34
等離子清洗機(jī)的電源頻率可分為低頻40KHz，高頻13.56MHz，微波2.45GHz，頻率越高，對處理材料的效果就越好，之前的大量實(shí)驗(yàn)也表明，高頻放電在提高電離能力，維持放電等方面比低頻放電更有效。關(guān)于其成因，至今尚無明確統(tǒng)一的解釋。為了讓大家更好地了解等離子清洗機(jī)高頻放電效率的相關(guān)知識， 上海昭沅儀器小編收集整理了一些資料。
能產(chǎn)生自持放電的最低容許氣壓隨著頻率的增加而降低，例如當(dāng)頻率為13.56MHz時(shí)，氣壓低于1.33×10-1Pa時(shí)，放電仍可維持；在放電相同的情況下，放電阻抗會(huì)隨著頻率的增加而降低，因此，在給定放電電壓下，流過的電流明顯增加。上述異常離子化現(xiàn)象與高頻電場中電子的運(yùn)動(dòng)行為有密切關(guān)系。
1、等離子清洗機(jī)的電場強(qiáng)度和頻率是決定電子運(yùn)動(dòng)特性的重要參數(shù)。
2、在等離子清洗機(jī)中，電子彈性碰撞的時(shí)間和電場位的配合能被加速。
在電離強(qiáng)化機(jī)理方面，先前已有學(xué)者指出，若電子與彈性碰撞的時(shí)間能與電場位適當(dāng)配合，則可使其持續(xù)加速。在一段時(shí)間內(nèi)，當(dāng)電子與Ar原子發(fā)生彈性碰撞，并改變其運(yùn)動(dòng)方向時(shí)，電場正好換向，這時(shí)電子的速度和能量都會(huì)持續(xù)增加。若按此原理，即使是一個(gè)相當(dāng)弱的電場，電子也可得到等量的電離能。這一機(jī)理被普遍認(rèn)為是微波放電時(shí)產(chǎn)生大量電離的主要原因，電場頻率在數(shù)千MHz范圍內(nèi)最有利，但也有人用來解釋13.56MHz這樣的頻率范圍內(nèi)的電離過程。
還有學(xué)者作了同樣的計(jì)算，認(rèn)為二次電子從器壁和陰極發(fā)射后，被離子鞘加速進(jìn)入光放電區(qū)域，成為電子的附加源。這時(shí)電子與器壁的碰撞，與微波放電時(shí)彈性碰撞作用相同，本質(zhì)上屬于二次電子的倍增現(xiàn)象，只取決于器壁釋放出的二次電子。當(dāng)二次電子放出的時(shí)候，碰巧在換向電場到達(dá)相位一致的時(shí)候，可以有效地增強(qiáng)離子化。通過大量高頻濺射設(shè)備的計(jì)算，為了使高頻電場峰達(dá)到11000V的峰值，需要使頻率和極隙d的乘積的d達(dá)到幾百M(fèi)Hz·cm。
3、上海昭沅儀器小編提醒大家，等離子清洗機(jī)電極的鞘層接觸面上“沖浪”的電子也會(huì)加強(qiáng)電離。
